無(wú)塵室內的浮游微粒子濃度,使用高性能的過(guò)濾器即可容易達到零水平,實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
無(wú)塵室內該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列四項基本原則:
一、不攜入
在無(wú)塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前,機臺、零件攜入前應進(jìn)行清潔處理;
2)進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無(wú)塵室。
4)機器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
5)無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二、不發(fā)生
在控制zui大污染源--人在無(wú)塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì )造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì )有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三、不儲備
若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù),無(wú)塵室內的潔凈度就可以維持。但現實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動(dòng),在廣大的無(wú)塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì )依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩定的氣流會(huì )使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
在zui高等級的無(wú)塵室中從天花板到地面,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內將室內空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計算出來(lái)的數值。同時(shí),空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻,因為在流通路徑中有障礙物的話(huà),容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(cháng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內,而一部分會(huì )附著(zhù)在周邊機器設備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。
無(wú)塵室內的浮游微粒子濃度,使用高性能的過(guò)濾器即可容易達到零水平,實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
無(wú)塵室內該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列四項基本原則:
一、不攜入
在無(wú)塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前,機臺、零件攜入前應進(jìn)行清潔處理;
2)進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無(wú)塵室。
4)機器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
5)無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二、不發(fā)生
在控制zui大污染源--人在無(wú)塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì )造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì )有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三、不儲備
若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù),無(wú)塵室內的潔凈度就可以維持。但現實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動(dòng),在廣大的無(wú)塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì )依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩定的氣流會(huì )使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
在zui高等級的無(wú)塵室中從天花板到地面,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內將室內空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計算出來(lái)的數值。同時(shí),空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻,因為在流通路徑中有障礙物的話(huà),容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(cháng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內,而一部分會(huì )附著(zhù)在周邊機器設備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。